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深冷分离制氮法所用设备包括空气压缩机、电加热器、分馏塔、冷凝蒸发器等。与其他两种工艺方法相比，它占地面积更大，工作步骤和内容更多。与变压吸附制氮相比，其投资略高。
与膜分离制氮法相比，投资较低。但在制氮能力方面，深度冷冻法与膜分离制氮、 PSA制氮相比，纯度要高十倍以上，同纯度相比，对氮气的提取率要高出近50%；例如，对99.9%纯度的膜分离制氮，深度冷冻法可达45%, PSA制氮法可达32.1%，而膜分离制氮法可达15%。因此，在实际应用中，深度冷冻分离法具有较大的应用价值和优势。
